Defektanalyse umfasst die Identifikation, Charakterisierung und Quantifizierung von Unvollkommenheiten in Werkstoffen, etwa Poren, Rissen, Versetzungen, Ausscheidungen und Segregationen. Methoden reichen von zerstörungsfreien Prüfverfahren (Ultraschall, CT) über Elektronen- und Ionenmikroskopie bis zu atomsonden- und spektroskopischen Techniken. Ziel ist die Korrelation von Defektpopulationen mit Herstellprozessen, Mikrostrukturentwicklung und Versagensverhalten.