Elektrospray-Ionenstrahlabscheidung kombiniert Elektrospray-Erzeugung geladener Tröpfchen/Ionen mit deren Fokussierung als Strahl zur Materialabscheidung auf Substraten. Dies ermöglicht die präzise, oft lösungsbasierte Abscheidung von Metallen, Oxiden, Polymeren oder Biomolekülen unter milden Bedingungen. Steuerung von Spannung, Lösung, Strahlführung und Substrattemperatur erlaubt definierte Schichtdicken, Morphologien und Zusammensetzungen bis in den Nano- und Mikrobereich.