Transfermatrixmethode im Kontext von Plasmaprozessen bezeichnet ein Modellierungsverfahren, das die Kopplung von Energie-, Teilchen- und Impulsflüssen zwischen diskreten Schichten oder Prozesszonen beschreibt. Zustandsvektoren werden über Matrizen übertragen, die Transport, Reaktionen und Grenzflächenwechselwirkungen abbilden. Dies ermöglicht die Analyse von Schichtwachstum, Plasma-Wand-Interaktion und Skalierung komplexer Beschichtungsanlagen.