Mehrschichtbeschichtungen bestehen aus vielen dünnen, alternierenden Schichten unterschiedlicher Materialien, typischerweise im Nano- bis Mikrometerbereich, die auf Substrate aufgebracht werden. Sie ermöglichen kombinierte Funktionen wie hohe Härte, Zähigkeit, Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit oder optische Filterwirkung. Grenzflächenarchitektur, Schichtdickenverhältnis und Eigenspannungen bestimmen Haftung, Rissausbreitung und Tribologie.