Abscheidungsparameter umfassen die variablen Prozessgrößen, die während Beschichtungs- und Abscheidungsverfahren eingestellt werden. Die kontrollierte Variation dieser Parameter, wie Temperatur, Druck und Gaszusammensetzung, ermöglicht die gezielte Erzeugung von dünnen Filmen mit maßgeschneiderten physikalischen und chemischen Eigenschaften.