Stöchiometrie beschreibt die exakten Stoffmengenverhältnisse der Elemente oder Phasen in Verbindungen, Legierungen und Reaktionen. In der Materialwissenschaft bestimmt sie Kristallstruktur, Phasenzusammensetzung, Defektdichte (z.B. Leerstellen, Nichtstöchiometrie in Oxiden) und damit elektrische, optische und mechanische Eigenschaften. Genaue stöchiometrische Kontrolle ist essentiell für Funktionswerkstoffe wie Halbleiter, Supra- und Katalysatormaterialien.