Die Dünnfilm-Charakterisierung nutzt analytische Methoden zur Bestimmung von Schichtdicke, Mikrostruktur, optischen und mechanischen Eigenschaften. Durch den Einsatz von Techniken wie Röntgenbeugung, Rastersondenmikroskopie und Spektroskopie können kritische Parameter erfasst werden, um die Leistungsfähigkeit der Filme zu bewerten.