Siliziumoxid-Beschichtungen sind dünne, schützende Filme, die Oberflächen vor Oxidation, Abrieb und elektrischen Durchschlägen bewahren. Zudem verändern sie die Oberflächeneigenschaften, was sie in der Elektronik, Optik und Korrosionsbeständigkeit von Verbundwerkstoffen besonders nützlich macht.