Die FIB-SEM Analyse kombiniert fokussierte Ionenstrahlbearbeitung mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie, um präzise Einschnitte in Materialien zu ermöglichen. Diese Methode erlaubt eine dreidimensionale Rekonstruktion von Mikrostrukturen und liefert detaillierte Einblicke in die innere Materialtopographie und Zusammensetzung.