Die Siliziumausdehnung beschreibt das thermisch induzierte Volumenwachstum von Silizium, das in Halbleitertechnologien und mikroelektronischen Bauelementen relevant ist. Die thermische Ausdehnung beeinflusst mechanische Spannungen und kann zu Bauteilversagen führen, weshalb präzise Messungen und Modellierungen in der Werkstoffwissenschaft von großer Bedeutung sind.