Dünnfilmsammlungen sind systematisch variierte Arrays von Dünnschichten, meist mittels Kombinatorik oder Gradientenabscheidung hergestellt. Sie ermöglichen das Hochdurchsatz‑Screening von Zusammensetzung, Mikrostruktur und Prozessparametern in Bezug auf funktionale Eigenschaften (z.B. elektrische, optische, katalytische). Durch ortsaufgelöste Charakterisierung lassen sich Phasendiagramme, Diffusions- und Stabilitätsgrenzen sowie Eigenschaftslandschaften effizient kartieren.