Die nicht-thermische Plasma-Deoxidation nutzt reaktive Plasmaspezies, um Oxidschichten schonend von Werkstoffoberflächen zu entfernen. Verfahren dieser Art ermöglichen eine präzise Reinigung ohne thermische Belastung des Substrats und werden in Prozessen eingesetzt, die eine kontrollierte Oberflächenmodifikation erfordern.