Elektronentomographie bezeichnet 3D-Rekonstruktion von Probenvolumina aus kippserienbasierten TEM/STEM-Aufnahmen. Bei der Elektronenbeugungstomographie werden insbesondere Beugungsintensitäten von nanokristallinen oder quasikristallinen Materialien über viele Orientierungen erfasst, um Kristallstruktur, Symmetrie, Gitterparameter und Defektverteilungen zu bestimmen. Rekonstruktionsalgorithmen berücksichtigen Mehrfachstreuung, begrenzten Kippbereich und Strahlenschäden.