Ein MEMS-basierter Halter ist eine miniaturisierte Vorrichtung, die auf mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) beruht. Er ermöglicht eine präzise Handhabung und Positionierung von Proben in Experimenten und Fertigungsprozessen, was besonders in der Mikro- und Nanotechnologie von Bedeutung ist.