Diffusionsmechanismus beschreibt die mikroskopischen Prozesse, durch die Atome, Ionen oder Moleküle sich in Festkörpern, Flüssigkeiten oder entlang Grenzflächen bewegen. In Werkstoffen dominieren Leerstellen-, Zwischengitter- und Korngrenzendiffusion sowie gekoppelte Massen- und Ladungstransporte. Der Mechanismus bestimmt Diffusionskoeffizienten, Aktivierungsenergien und beeinflusst Phasenumwandlungen, Kriechen, Korrosion und Dotierungsprofile.