Dünnfilme und Mehrschichtbeschichtungen basieren auf der Abscheidung atomar dünner und mehrfach geschichteter Schichten, um Oberflächeneigenschaften wie optische, elektrische und mechanische Parameter gezielt zu verändern. Diese präzise gestaffelte Struktur ermöglicht eine Optimierung der Mikrostruktur für anspruchsvolle Anwendungen, von Mikroelektronik bis hin zu Schutzbeschichtungen.