Mikromechanische Prüfung umfasst experimentelle Methoden zur mechanischen Charakterisierung einzelner Mikrostrukturelemente wie Körner, Phasen oder Dünnschichten. Techniken sind Nanoindentation, Mikrosäulen-Druckversuche, Mikrozug, Kratz- und Biegeversuche, oft in situ in REM oder TEM. Sie erlauben die Bestimmung lokaler Elastizitäts-, Fließ- und Bruchkennwerte und die Validierung mechanischer Modelle, einschließlich Größeneffekten, Anisotropie und Defekt-getriebener Deformation.