Interstitielle Defekte bezeichnen Unregelmäßigkeiten in einem Kristallgitter, bei denen zusätzliche Atome in den Zwischenräumen der regulären Gitterpositionen untergebracht sind. Solche Defekte können die mechanische Festigkeit, das Diffusionsverhalten und die elektronischen Eigenschaften von Materialien maßgeblich beeinflussen.