Die Dünnfilmsynthese umfasst Verfahren zur Herstellung von Schichten im Nanometer- bis Mikrometerbereich. Durch chemische oder physikalische Abscheidungstechniken werden funktionale Filme erzeugt, die in Sensorik, Elektronik und als Schutzschichten in unterschiedlichen Werkstoffsystemen Anwendung finden.
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