Laser-Lithographie ist ein hochpräzises Verfahren zur Erzeugung mikro- bis nanostruktureller Muster mittels fokussierter Laserstrahlen. Dabei kommt selektive Belichtung in Kombination mit chemischen oder physikalischen Prozessschritten zum Einsatz, was sie in der Halbleiter- und Mikrofabrikation unverzichtbar für die Definition präziser Strukturen macht.