Eine sauerstofffreie Atmosphäre wird durch Inertgase, Vakuum oder getrocknete, gereinigte Prozessgase realisiert, um Oxidation und Sauerstoffeinlagerung zu verhindern. Sie ist entscheidend bei Hochtemperaturprozessen, Metallpulverherstellung, Löt- und Wärmebehandlungen sowie der Charakterisierung sauerstoffsensitiver Werkstoffe. Die genaue Kontrolle des Sauerstoffpartialdrucks beeinflusst Phasengleichgewichte, Defektchemie und Oberflächenreaktionen.