EBSD Charakterisierung nutzt Elektronenrückstreubeugung im REM, um kristallographische Orientierungen, Phasen und Fehlorientierungen mit hoher lateraler Auflösung zu bestimmen. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie Textur- und Korngrenzenanalysen, Ermittlung von Orientierungsverteilungsfunktionen und lokalen Deformationszuständen. EBSD ist zentral für das Verständnis von Verformungsmechanismen, Rekristallisation, Phasenumwandlungen sowie für mikrostrukturbasierte Simulationsmodelle.