Die Niedrigwinkel-Röntgeninzenz ist eine analytische Methode, bei der Röntgenstrahlen unter sehr geringen Inzidenzwinkeln auf Oberflächen treffen. Diese Technik ermöglicht die Charakterisierung von dünnen Schichten, Grenzflächen und Porositäten. Sie liefert wertvolle Informationen zu Schichtdicke, Oberflächenrauheit und strukturellen Heterogenitäten in nanoskaligen Abscheidungen.