Oberflächenintegrität beschreibt den Zustand einer bearbeiteten oder funktionalisierten Oberfläche einschließlich Topografie, Randzonengefüge, Eigenspannungen, Härte, Defekten und chemischer Zusammensetzung. Sie beeinflusst tribologische Eigenschaften, Korrosions- und Ermüdungsbeständigkeit sowie Haftung von Beschichtungen. In der Werkstofftechnik wird sie mit Methoden wie Röntgendiffraktometrie, Elektronenmikroskopie und Profilometrie charakterisiert und gezielt durch Bearbeitungsparameter und Nachbehandlungen eingestellt.