Sauerstoffdiffusion beschreibt den Transport von Sauerstoffatomen oder -molekülen in Werkstoffen, getrieben durch Konzentrationsgradienten. Diese Diffusion beeinflusst Oxidationsprozesse, Korrosionsverhalten und altersbedingte Veränderungen in Hochtemperaturanwendungen, wobei die Analyse der Mikroskopie hilft, Standort und Geschwindigkeit der Diffusionsprozesse zu quantifizieren.