Niedervakuumbetrieb beschreibt Prozesse und Messungen, die unter reduzierte Vakuumbedingungen durchgeführt werden. Diese Umgebung ermöglicht die Vorbereitung und Analyse von Materialproben, wobei im Vergleich zu Hochvakuumverfahren Vorteile wie geringere Kosten und bessere Zugänglichkeit erzielt werden.