Dünnfilm-Diffusionssperren sind spezielle Beschichtungen, die den atomaren Austausch zwischen benachbarten Materialschichten verhindern. Sie werden häufig in mikroelektronischen Anwendungen eingesetzt, um die Integrität von Schichtstrukturen zu wahren und unerwünschte Reaktionen zu verhindern. In der Werkstoffwissenschaft ist deren Entwicklung zentral zur Verbesserung der Bauelementezuverlässigkeit.