Der Oxidbildungsprozess beschreibt die chemische Reaktion eines Werkstoffs mit Oxidationsmitteln, meist O2, unter Bildung von Oxidschichten. In der Werkstoffwissenschaft werden Diffusion, Reaktionskinetik und Defektstrukturen betrachtet, die Wachstumsgesetze (linear, parabolisch) bestimmen. Oxide können als Schutzschichten, Funktionsschichten (z. B. Gate-Oxide) oder als Quelle von Versprödung und Degradation wirken.