Die Ionenstrahlpräparation ist ein Verfahren zur Oberflächenglättung und Probenvorbereitung für hochauflösende Mikroskopie. Durch die gezielte Bearbeitung mit Ionen werden Artefakte minimiert und homogene Bereiche geschaffen, was in der Werkstoffanalytik für die Untersuchung von Mikrostrukturen essenziell ist.