Glimmentladungsplasma entsteht bei elektrischen Entladungen in einem gasförmigen Medium im Niederdruckbereich. Es zeichnet sich durch leuchtende Erscheinungen und eine hohe Reaktivität aus, wodurch es zur Oberflächenanalyse, -reinigung und -modifikation in der Werkstoffwissenschaft eingesetzt wird. Die Ionisation der Gase ermöglicht zudem die Entfernung von Verunreinigungen sowie die Einbringung aktiver Spezies in Materialien.