Die EDX-Mikroanalyse kombiniert Elektronenmikrosonden mit Röntgenspektroskopie, um die Elementzusammensetzung von Materialien auf mikroskopischer Ebene zu bestimmen. Diese Methode ermöglicht eine präzise Charakterisierung von Mikrostrukturen und hilft, Materialfehler sowie Verunreinigungen effektiv zu identifizieren.