Ätztechnik umfasst chemische, elektrochemische oder plasmabasierte Prozesse zum kontrollierten Materialabtrag an Oberflächen. In der Werkstoffkunde dient sie der Freilegung von Mikrostrukturen, Korngrenzen und Phasen zur metallographischen Analyse sowie der Strukturierung in der Mikro- und Nanofabrikation. Ätzraten, Selektivität, Anisotropie und Maskenstabilität bestimmen Auflösung, Profilgeometrie und mögliche Schädigungen der verbleibenden Materialbereiche.