Oberflächenanalyse umfasst Verfahren zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung und Struktur der obersten Materialschichten. Diese Techniken ermöglichen es, Zusammensetzungsgradienten, Verunreinigungen und Modifikationen an Oberflächen zu identifizieren, was für die Optimierung von Werkstoff- und Beschichtungsprozessen wesentlich ist.