Ionenkanalierung ist ein Analyseverfahren, bei dem ein Ionenstrahl entlang kristallographischer Richtungen gesteuert wird. Abweichungen im Intensitätsmuster liefern Informationen zu Defekten, Versetzungen und anderen Unregelmäßigkeiten im Kristallgitter, wodurch strukturelle Eigenschaften und Materialfehler aufgedeckt werden können.