Probenpräparation umfasst alle Schritte zur Herstellung von Proben mit definierter Geometrie und Oberflächenqualität für werkstoffwissenschaftliche Untersuchungen. Sie beinhaltet Trennen, Einbetten, Schleifen, Polieren und ggf. Ionendünnung oder FIB-Präparation. Ziel ist die artefaktarme Darstellung der repräsentativen Mikrostruktur, wobei Eigenspannungen, Verformungsschichten und Kontamination minimiert werden müssen, abgestimmt auf die jeweilige Analysemethode.