Einzelpartikelanalyse umfasst Methoden zur Charakterisierung individueller Partikel hinsichtlich Größe, Morphologie, Zusammensetzung, Kristallstruktur und Oberflächenchemie. In der Werkstoffwissenschaft werden Techniken wie TEM, AFM, Einzelpartikel-ICP-MS oder nano-SIMS eingesetzt, um Nanopartikel, Aerosole, Katalysatorträger oder Korrosionsprodukte auf Heterogenitäten, Reaktivität und Transformationsprozesse zu untersuchen.