Oberflächentopographie bezeichnet die dreidimensionale Mikro- und Nanostruktur einer Oberfläche, charakterisiert durch Rauheit, Welligkeit und Formabweichungen. Sie beeinflusst Benetzbarkeit, Adhäsion, Reibung, Verschleiß, optische Eigenschaften sowie Zell- und Proteinadsorption. In der Werkstoffwissenschaft wird sie durch Bearbeitung, Ätzen, Beschichtungen oder Lithographie eingestellt und mittels AFM, Profilometrie oder Weißlichtinterferometrie quantitativ erfasst.