Oxidische Schichten sind feste Oxidfilme auf Metall-, Keramik- oder Polymeroberflächen, die durch thermische Oxidation, elektrochemische Verfahren, Sol-Gel-Prozesse oder PVD/CVD gebildet werden. Sie können passivierend, elektrisch isolierend, dielektrisch oder ionenleitend wirken und sind zentral für Korrosionsschutz, Hochtemperaturbeständigkeit, Katalyse und Energiespeicher. Mikrostruktur, Defektchemie und Spannungszustand bestimmen ihre mechanische Stabilität und Funktionsleistung.