Vakuumsdiffusion ist ein atomarer Transportmechanismus in Kristallen, bei dem Leerstellen als Zwischenspeicher fungieren. Atome springen thermisch aktiviert in benachbarte Leerstellen, wodurch sich sowohl Leerstellen als auch Atome bewegen. Die Diffusionsgeschwindigkeit hängt von Leerstellenkonzentration, Aktivierungsenergie und Temperatur ab und folgt meist einem Arrhenius-Gesetz. Vakuumsdiffusion dominiert bei Substitutionsatomen und beeinflusst Kriechen, Erholung, Rekristallisation und Phasenumwandlungen.