Sind Materialien mit extrem niedrigen Gehalten an Fremd- und Spurenelementen, oft im ppb- oder ppt-Bereich. In der Werkstoffwissenschaft dienen sie als Referenz für Defektstudien, Dotierungskontrolle und zur Minimierung streuender Einflüsse bei elektrischen, optischen oder mechanischen Messungen. Herstellung erfordert hochreine Edukte, kontrollierte Schmelz-, Kristallisations- oder Gasphasenprozesse und Reinraumumgebung, typischerweise für Halbleiter- und Optikmaterialien.