ICP-MS-Instrumentierung kombiniert ein induktiv gekoppeltes Plasma zur Zerstäubung und Ionisation von Proben mit einem Massenspektrometer zur Element- und Isotopenanalyse. Zentrale Komponenten sind Zerstäuber, Sprühkammer, Plasmafackel, Interface-Konusse, Ionenoptik, Analysator (Quadrupol, Sektor oder TOF) und Detektor. Sie ermöglicht Spuren- und Ultra-Spurenanalytik fester Werkstoffe nach Aufschluss oder mittels LA-ICP-MS mit hoher Empfindlichkeit.