Plasmadiagnostik umfasst experimentelle und numerische Methoden zur Bestimmung von Zustandsgrößen in Plasmen, etwa Elektronendichte, Temperatur, Speziesverteilung und elektrische Felder. Techniken wie Emissions‑ und Absorptionsspektroskopie, Laser‑induzierte Fluoreszenz, Langmuir‑Sonden oder interferometrische Verfahren ermöglichen die Charakterisierung von Prozessplasmen für Beschichtung, Ätzen oder Oberflächenmodifikation. Präzise Diagnostik ist Voraussetzung für das Verständnis von Reaktionskinetik und für modellgestützte Prozesskontrolle.