Mikrofabrikation bezeichnet Herstellungsverfahren für Strukturen im Mikro‑ bis Submikrometerbereich, etwa durch Lithographie, Ätzen, Abscheidung und Galvanoformung. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie die gezielte Strukturierung von Halbleitern, Metallen, Polymeren und Keramiken zur Realisierung von MEMS, Mikroreaktoren, Sensoren und Metamaterialien, wobei Grenzflächeneffekte und Größenskalenmaterialgesetze dominieren.