Die energiedispersive Röntgenspektroskopie ist eine mikroanalytische Methode, bei der durch Elektronenbeschuss charakteristische Röntgenstrahlung angeregt und deren Energieverteilung gemessen wird. In Kombination mit REM erlaubt sie die ortsaufgelöste Bestimmung elementarer Zusammensetzungen von Werkstoffen. Sie ist essenziell für Phasenidentifikation, Analysen von Korngrenzen, Ausscheidungen, Diffusionszonen und Verunreinigungen bis in den Mikrometerbereich.