Ätztechniken nutzen chemische oder physikalische Prozesse, um Material selektiv von Oberflächen zu entfernen und Mikrostruktur, Phasen oder Defekte sichtbar zu machen oder Mikrostrukturen zu erzeugen. In der Metallographie dienen nasse oder elektrolytische Ätzmittel der Korn- und Phasenkontrastierung, in Dünnschicht- und Halbleitertechnik kommen reaktive Ionenätzung und Plasmaätzverfahren für hochauflösende Strukturierung zum Einsatz.