Mikroelektronik befasst sich mit der Entwicklung und Fertigung integrierter elektronischer Bauelemente im Submikrometerbereich, wie Transistoren, Speicher und Sensoren. Werkstoffwissenschaftlich stehen Halbleiter, Dielektrika, Metallisierungen und Interconnects sowie deren Grenzflächen, Defekte und Zuverlässigkeit im Fokus. Schlüsseltechnologien sind Dünnschichtabscheidung, Lithographie, Dotierung, Packaging, 3D-Integration und thermo-mechanische Zuverlässigkeitsanalysen.