Rasterelektronenmikroskopie (REM) kombiniert fokussierte Elektronenstrahlen mit Detektion von Sekundär- und Rückstreuelektronen zur hochauflösenden Oberflächenabbildung. Energie-dispersive Röntgenspektroskopie (EDX) analysiert die durch Elektronenanregung emittierten charakteristischen Röntgenstrahlen und liefert ortsaufgelöste chemische Zusammensetzungen. Zusammen ermöglichen REM und EDX die Korrelation von Mikrostruktur, Phasenverteilung, Korngrenzen und Defekten mit lokaler Elementanalytik in Werkstoffen.