Rasterelektronenmikroskopie nutzt einen fokussierten Elektronenstrahl, der zeilenweise über die Probenoberfläche geführt wird. Detektierte Sekundär-, Rückstreu- oder charakteristische Röntgenstrahlung liefern hochauflösende Informationen zu Topographie, Zusammensetzung und Kristallorientierung (EBSD). In der Werkstoffwissenschaft ist REM unverzichtbar für Gefügeanalyse, Bruchflächencharakterisierung, Nanostrukturen und korrelative Untersuchungen mit chemischer Mikroanalyse.