Diffusion bezeichnet den stofflichen Transport von Atomen, Ionen oder Defekten infolge thermisch aktivierter Zufallsbewegung entlang eines Konzentrations-, chemischen Potential- oder Aktivitätsgefälles. Interdiffusion beschreibt den gekoppelten Gegentransport unterschiedlicher Spezies in Mehrkomponentensystemen, meist an Phasengrenzen oder in Legierungen. Beide Prozesse werden durch Diffusionskoeffizienten, Defektmechanismen und Temperatur stark bestimmt und steuern Entmischung, Homogenisierung, Ausscheidung und Reaktionskinetik.