EBSD ist ein rasterelektronenmikroskopisches Verfahren zur kristallographischen Charakterisierung von Werkstoffen. Durch Auswertung von Rückstreubeugungsmustern werden lokale Orientierung, Phasen, Textur, Fehlorientierungen und Korngrenzenklassifikationen mit hoher lateraler Auflösung bestimmt. EBSD ermöglicht z. B. die Analyse von Rekristallisation, plastischer Deformation, Spannungszuständen und der Wechselwirkung von Mikrostruktur, Anisotropie und mechanischen bzw. funktionellen Eigenschaften.
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