Elektronenrückstreubeugung ist eine rasterelektronenmikroskopische Technik zur Bestimmung von Kristallorientierungen, Korngrenzen und Texturen auf submikrometer Skalen. Ausgewertet werden Kikuchi‑Beugungsbilder, die über Indexierung Phasen und Spannungszustände liefern. Proben erfordern polierte, geneigte Flächen; Auflösung und Indexierung hängen von Detektorqualität, Material und Experimentparametern ab.